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《瓦森纳协议》不攻自破?这几家大陆厂喜提ASML设备

作者:时间:2019-03-19来源:集微网收藏

  随着全球半导体行业的竞争已经进入到了“下半场”,台积电和三星在7nm正打得火热,但两边手里的“武器”,也就是极紫外光刻(EUV),均是来自于

本文引用地址:http://www.baixidun.cn/article/201903/398613.htm

  曾经,一直传言受西方《瓦森纳协议》的限制,中国只能买到的中低端产品,但后来正式澄清,其最高端的EUV进口到中国大陆完全没有问题。

  那么近两年以来,大陆有哪些集成电路制造商引进了ASML的设备呢?

  :1.2亿美元的EUV

  去年5月,向ASML订购了一套EUV设备,据传是当时最昂贵和最先进的芯片生产工具,价值高达1.2亿美元,这一设备预计将于2019年年初交付。

  知情人士表示,1.2亿美元的价格和2019年的交货时间可能不准确,但订单是真实的。他还指出,如果价格是1.2亿美元,台积电和三星的价格也不会低于这个数目。也就是说,ASML给到的价格已经很便宜了。

  集微网记者根据价格推测,中芯国际订购的这台EUV光刻机的型号应该是TwinscanNXE:3400B,这是当时市面上最先进的EUV光刻机设备。

  据ASML官网显示,这台价值1.2亿美元的天价设备,能够支持精细到5nm工艺节点的批量生产,由此也可以见得,14nm不是中芯国际的最终目标,7nm时代并不会太遥远。

  在其他数据方面,该设备采用了卡尔蔡司SMT全反射4倍光学变焦镜头组件,最大曝光范围为26mm×33mm,拥有每小时155片的300mm尺寸晶圆雕刻能力。

  要知道,这台价值EUV设备的价值大致相当于中芯国际2017年的1.26亿美元净利润,半导体行业专家莫大康曾表示这是为研发做准备的大投资,但不能高兴的太早,因为设备出口许可证,ASML说了不算,还要听美国的。

  不过,ASML今年还将推出产能更高的新型号TwinscanNXE:3400C,每小时晶圆雕刻能力将从155片提升至170片,并换装了Cymer公司的340W光源。这样一来,预计3400B运抵中芯国际厂区的时候,已经不再是市面上最先进的EUV设备了。

  长江存储:NXT1980Di

  就在中芯国际下单EUV光刻机几天后,长江存储购买自ASML的光刻机也运抵了武汉天河机场,陆续还有多台进厂。

  根据集微网当时的报道,这台光刻机为ASML的193nm浸润式光刻机,型号为NXT1980Di,售价达7200万美元(约合人民币4.6亿元),用于10nm级(14~20nm)的晶圆生产。

  据了解,长江存储在2016年启动了位于武汉的国家存储器基地的建设,总投资高达240亿美元,按计划,2020年月产能将达到30万片。

  华虹六厂:喜提14nm关键设备

  去年5月21日上午,华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(“华虹六厂”)首台工艺设备光刻机正式进厂。

  这台ASML的光刻机型号与长江存储的193nm双级沉浸式光刻机一样,都是NXT1980Di,这两台也是当时大陆装备的最先进的沉浸式光刻设备。

  华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目,总投资387亿元人民币,将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线,工艺覆盖28-14纳米技术节点。

  预计该生产线将于2022年底建成达产,未来主要从事逻辑芯片生产,重点服务国内设计企业先进芯片的制造,并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。

  SK海力士(无锡):如期而至的NXT:2000i

  去年8月,ASML曾表示已经开始出货新设备TwinscanNXT:2000iDUV(NXT:2000i双工件台深紫外光刻机),可用于7nm和5nm节点,并表示不久后就将进入大陆。

  ASML果然没有食言,去年12月19日晚间,中国首台ASMLNXT:2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂。

  NXT:2000i将是NXE:3400BEUV光刻机的有效补充,台积电的第一代7nm全部采用了DUV工艺,在第二代7nm工艺(CLNFF+/N7+),台积电首次应用了EUV,不过仅限四个非关键层,其他关键层仍然使用的是DUV工艺。

  作为当前ASML旗下套刻精度(overlay)最高的产品,NXT:2000i达到了和3400B一样的1.9nm(5nm要求至少2.4nm,7nm要求至少3.5nm)精度。

  无锡是SK海力士在中国的DRAM内存芯片生产基地,目前每月晶圆的产量约为14万片。另外,SK海力士还成立了SKHynixSystemIC公司,开始进军晶圆代工市场,同时增加1000万美元投资,在无锡扩大了模拟IC芯片业务。

  粤芯:神秘的运输车

  今年3月15日,广州粤芯半导体在广州举行了主设备进场仪式。日前,曾有数台载有半导体设备的运输车进入了粤芯的厂区,其中就有一台格外引人注目,因为其车厢外部印有ASML商标。

  据集微网记者了解,粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM(irtuallDM)为营运策略的12英寸芯片厂,也是广州第一条12英寸芯片生产线,一期目标产能为4万片每月,投资高达100亿元。

  粤芯半导体目前的工艺覆盖90nm到180nm,产品主要包括微处理器、电源管理芯片、模拟芯片、功率分立器件等。二期工程建成后,能满足物联网、汽车电子、人工智能、5G等创新应用的模拟芯片需求,届时工艺覆盖将为40nm到65nm。

  单以工艺节点的覆盖来推测的话,这台ASML的设备,有可能是TwinscanNXT:1965Ci,该设备能满足20nm级别的光刻工艺需求。

  鞋是别人的,路还要靠自己走

  ASML去年的净销售额为109亿欧元,净收入为26亿欧元。仅第4季度就收到了5个EUV设备订单。按计划,今年更将出货30台EUV设备,其中包括DRAM客户的首批批量生产系统。

  中国大陆的半导体制造目前还落后于世界一流水平两至三代,虽然如今有ASML先进的硬件设施鼎力相助,但还需要自身工艺研发方面取得突破。

  如今,就连台积电和三星这样的大厂都要看ASML的脸色行事,没有ASML提供设备,他们的先进工艺研发也会受阻。中国半导体产业在追赶世界第一梯队的路上,半导体设备国产化具有重要战略意义。

  虽然去年出现过一台号称能做10nm的国产光刻机,但后来澄清了这台只是原理机,不专业的报道一度引得国人拍手叫好。其实,国内也有像中微半导体和北方华创这样有实力的半导体设备厂商,虽然与ASML有一定实力差距,但要想不受制于人,只有自主研发一条路。



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